【48812】铝蚀刻液成分剖析—磷酸、硝酸、醋酸有多少？

  铝是半导体工艺中最首要的导体资料。它具有低电阻、易于淀积和刻蚀等长处。铝蚀刻液首要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水，其间磷酸、硝酸、醋酸及水的组成比例会影响到蚀刻的速率，故需要对这种混酸溶液的成分进行剖析。

  1、硝酸：在样品中参加适量乙醇做溶剂，用四丁基氢氧化铵（TBAOH）滴定至结尾，即可核算硝酸的含量。

  2、醋酸和磷酸：在样品中参加适量饱满氯化钠溶液做溶剂，用氢氧化钠溶液做滴定剂，呈现两个滴定结尾。第一个结尾是H

  和HAc被耗尽时的结尾，依据已知的硝酸含量，即可核算出磷酸及醋酸的含量。

  （1）硝酸含量测验：在滴定杯内参加50mL无水乙醇，精确称取必定质量的样品置于滴定杯内，用 0.01mol/L TBAOH溶液做滴定剂进行电位滴定，结尾电位突跃设置为20mV/mL。

  图1 硝酸含量滴定曲线 醋酸和磷酸含量滴定曲线）醋酸和磷酸含量测验：在滴定杯内参加50mL饱满氯化钠溶液。精确称取必定质量的样品置于滴定杯内，用0.5mol/L氢氧化钠溶液做滴定剂进行电位滴定，结尾电位突跃设置为100mV/mL。

  1、TBAOH标守时需要用纯水做邻苯二钾酸氢钾的溶剂，而运用TBAOH测定硝酸时必定要运用无水乙醇做溶剂，不要在滴定杯内参加水，不然不可能会呈现明显的滴定结尾。

  2、运用氢氧化钠测定醋酸和磷酸时，需运用饱满氯化钠溶液做溶剂，若运用纯水做溶剂会呈现假结尾。

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